TEL:400-0033-603
銷售熱線：
總經理投訴電話：18009693519
貝意克免費送《黑神話：悟空》??！
貝意克學術論文獎薦讀 | 寧夏大學朱濤濤 SiC陶瓷膜的制備研究
貝意克學術論文獎薦讀 | 復旦大學 曹永杰：獨立思考，發現問題，解決問題！
交流研思 篤行致遠 | 合肥工業大學微電子學院師生蒞臨我司參觀交流
------- 實驗室預約 --------
微信公眾號
瀏覽量:
產品名稱
大口徑動態plasma輔助法卷對卷式石墨烯制備設備 RTR-150
所屬分類
產品中心
零售價
0.00
數量
-
+
庫存
0
聯系我們
在線咨詢
產品描述
產品參數
|
加熱系統 |
|
|
最高溫度 |
1200℃ |
|
使用溫度 |
≤1100℃ |
|
爐管尺寸 |
Φ150mm（爐管直徑可根據實際需求定制）
|
|
爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
|
熱電偶 |
K型熱電偶 |
|
控溫精度 |
±1℃ |
|
控溫方式 |
30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為7”工控電腦，內置PLC控制程序 |
|
加熱區長度 |
200+200+200mm |
|
加熱元件 |
電阻絲 |
|
供電電源 |
單相，220V 50Hz |
|
PE系統 |
|
|
功率輸出范圍 |
0W~1000W |
|
最大反射功率 |
200W |
|
射頻輸出接口 |
50 Ω, N-type, female |
|
功率穩定度 |
≤5W |
|
諧波分量 |
≤-50dbc |
|
供電電壓 |
單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
|
整機效率 |
≥70% |
|
功率因素 |
≥90% |
|
冷卻方式 |
強制風冷 |
|
三路質子流量控制系統 |
|
|
連接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭
|
|
標準量程（N2) |
200sccm，500sccm、1000sccm（可根據用戶要求定制） |
|
準確度 |
±1.5%F.S |
|
線性 |
±1%F.S |
|
重復精度 |
±0.2%F.S |
|
響應時間 |
氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
|
工作壓差范圍 |
0.1～0.5 MPa |
|
最大壓力 |
3MPa |
|
接口 |
Φ6，1/4'' |
|
顯示 |
4位數字顯示 |
|
工作環境溫度 |
5~45高純氣體 |
|
壓力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
|
截止閥 |
Φ6 |
|
內外雙拋不銹鋼管 |
Φ6 |
|
低真空機組 |
|
|
空氣相對濕度 |
≤85% |
|
工作環境 |
5℃～40℃ |
|
工作電壓 |
380V |
|
功率 |
1KW |
|
抽氣速率 |
32m³/h |
|
極限真空 |
5X10-1Pa（空載冷態） |
|
工作壓力范圍 |
1.01325X105～1.33X10-2Pa |
|
耐壓值 |
0.03MPa |
|
進氣口口徑 |
KF40 |
|
排氣口口徑 |
KF40 |
|
連接方式 |
采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連
|
上一篇
自動進料回轉CVD系統 BTF-1200C-R-CVD
等離子體增強回轉PECVD系統 BTF-1200C-R-PECVD
下一篇