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產品名稱
升華儀 BOF-5-50
所屬分類
實驗級升華儀
零售價
0.00
數量
-
+
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產品描述
產品參數
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額定功率 |
5KW |
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額定電壓 |
AC 220V Single Phase，50/60 Hz |
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外管尺寸 |
Φ50*1200mm高純石英管(管徑可選）
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常規處理量 |
0.1-50g |
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升華區溫度 |
50-800℃ |
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沉積區區溫度 |
50-500℃ |
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加熱區分布 |
100+200+100+100+100mm |
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控溫方式 |
數字工控儀表雙控，采用工業智能控溫儀表，采用模糊型PID控制 |
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控溫點數量 |
5點獨立控溫 |
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開啟方式 |
開門式爐體結構上下翻蓋液壓手動開啟 |
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極限真空（潔凈系統） |
5X10-5Pa |
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分子泵抽氣速率 |
100L/S |
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過濾方式 |
系統采用三級過濾保護裝置，分別采用多級微孔金屬濾網、液氮內嵌式冷凝、90度直角臺階式過濾 |
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本底真空 |
機械泵系統：1Pa |
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分子泵系統：10-3Pa |
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細節展示圖 |
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升華儀 BOF-3-100
簡易版球頭密封升華儀 BOF-3-60
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